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在現代工業的發展中，氣體已經是必不可少的耗材。一方面是由于生產工藝的需求，如刻蝕、涂層等，氣體經過真空電解可以和介質發生反應達到生產需求；另一方面作為輔助、吹掃、動力源等也是用途廣泛。在使用具有危險性質的氣體時，無論是管道殘留、還是純度要求等，都需要進行工藝管線的吹掃。現代特氣輸送系統中，吹掃和排氣已經成為整套系統的標配，特氣系統加入吹掃功能后大大提升了安全性，也保證了每次使用氣體的純度。本文嘗試從吹掃和排氣的專業角度對整套系統的架設提出建設性意見。

特氣系統吹掃氮氣設置：

n 自然性、可燃性、毒性、腐蝕性特種氣體系統的吹掃氮氣應與獨立的氮氣源鏈接，不得與公用的氮氣或工藝氮氣系統相連；

n 不相容性特種氣體系統的吹掃氮氣不得共用同一氮氣源；

n 吹掃氮氣管線必須設置止回閥。

吹掃氮氣模塊的設計已經成為特氣輸送系統的標準化配置，有些用戶根據自身廠務的情況也可以使用氬氣等惰性氣體作為吹掃氣體。除了易燃易爆性、毒腐性特氣需要外接氮氣吹掃外，很多惰性氣體使用的是自吹掃系統。對于常用的氫氣、乙炔等氣體，也建議設置接入外吹掃氮氣，一方面可以保證管內潔凈度，一方面也較大程度的保證使用安全。

另外，吹掃氮氣的純度建議仍然保持在5N及以上，避免給管道和閥門造成二次污染。

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